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- EABRA荏原
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- SENSEZ森茲
- MORITEX茉麗特
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- HENIX梅田
- JISC積世克
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- MARUYAMA丸山
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- TSUBAKI椿本
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- KOMYOKK光明理化
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- KETT凱特
- KRK笠原理化
- LIGHTEST
- AITEC艾泰克
- KITZ北澤
- ONOSOKKI小野傳感器
- SAKAGUCHI坂口電熱加...
- KOYO光陽
- LUBE泵閥
- KURABO久保田脫泡機(jī)
- MCRL村上分光測(cè)色儀
- NIPPONMUKI無機(jī)過濾...
- ORC歐阿希照度計(jì)
- USHIO牛尾UV燈
- SAKURAI櫻井打印紙
- KEYENCE基恩士
- LUCEO魯機(jī)歐應(yīng)力儀
- SANEI三榮電機(jī)
- NPM日脈電機(jī)馬達(dá)
- NBK鍋屋工裝夾具
- AKRIBIS雅克貝斯精密平...
- COSMO科斯莫檢漏儀
- SAMJUNG禪才離子風(fēng)棒
- SUMITA住田光纖
- HAYASHI林時(shí)計(jì)光纖光源
- METROL美德龍
- VALQUA華爾卡配管部品
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- HEIDON新東攪拌機(jī)
- SOLAX/SERIC索納克...
- SANKO山高膜厚計(jì)
- ITOH伊藤粉碎機(jī)
- NEWKON新光針孔機(jī)
- ONOSOKKI小野編碼器
- ELMEX安科生物涂抹棒
- AxoScan美國(guó)
- MITSUI ELECTRI...
- FUJICOM富士
- HAYASHI林時(shí)計(jì)
- Navitar納維塔爾鏡頭
- KANETEC強(qiáng)力脫磁裝置
- NPM日本脈沖電機(jī)
- YUASA尤阿薩折彎?rùn)C(jī)
- UNILAM優(yōu)尼光紫外燈
- POLARION普拉瑞探照燈
- AND艾安得
- JIKCO吉高濃度計(jì)
- IIJIMA飯島酸素計(jì)
- SPAIR日信工具
- Axometrics美國(guó)
- ASAHI旭精工
- DSK電通熒光燈
- DNL**燈
- ORIHARA折原應(yīng)力儀
- NIKKATO日陶研磨球
產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
A2K系列是在反應(yīng)性濺射工藝中，在DC電源輸出上脈沖施加正電壓，中和靶材上的積蓄電荷來防止異常放電的附加單元。
能在原來的電源上簡(jiǎn)單的追加，低成本實(shí)現(xiàn)產(chǎn)量和良率提高。
詳情介紹：
A2K系列是在反應(yīng)性濺射工藝中，在DC電源輸出上脈沖施加正電壓，中和靶材上的積蓄電荷來防止異常放電的附加單元。能在原來的電源上簡(jiǎn)單的追加，低成本實(shí)現(xiàn)產(chǎn)量和良率提高。
特點(diǎn)
-
高產(chǎn)量
通過減少異常放電可以輸入更高功率 -
基板損傷減少
能夠減少電弧引起的基板損 -
控制基板的問題
與RF濺射相比，可以降低基板溫度 -
簡(jiǎn)單的連接性
可以連接到現(xiàn)有設(shè)備 -
可變的反向脈沖頻率
A2KH-25：1kHz ～ 20kHz、A2K-20K/40K：1kHz ～ 50kHz范圍內(nèi)可使用 -
脈沖同步系統(tǒng)
可以輸出多個(gè)A2K單元的同步脈沖 *2 *3 -
主從連接可實(shí)現(xiàn)大容量
A2K-20K、40K*多可以6臺(tái)并聯(lián)運(yùn)行
應(yīng)用：脈沖同步系統(tǒng)
當(dāng)同一個(gè)腔室內(nèi)陰極互相靠近相對(duì)，或者，當(dāng)多個(gè)A2K放電彼此干擾時(shí)。通過使用相位控制功能，可以使A2K的反向脈沖同相并防止放電干擾。*3 *4
*1：可以與弊社DC電源連接
*2：使用A2KH-25，A2K-20K，40K不能執(zhí)行脈沖同步和并行操作。
*3：A2KH-25需要外部同步單元（PHSM / PHSS）
*4：A2K-20K / 40K需要光同步電纜（Pulse link cable）
用途
FPD用反應(yīng)濺射設(shè)備
工業(yè)涂層用反應(yīng)濺射設(shè)備
彩色TFT用反應(yīng)濺射設(shè)備
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