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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科擺動閥雙動式

  • 產(chǎn)品型號：VFR-400
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
是基于ULVAC**的技術(shù)開發(fā)的大型擺動閥(門閥)。 可對應(yīng)顯示器成膜設(shè)備等大型真空設(shè)備。
詳情介紹：
是基于ULVAC**的技術(shù)開發(fā)的大型擺動閥(門閥)。
可對應(yīng)顯示器成膜設(shè)備等大型真空設(shè)備。

特點

  • ULVAC**的技術(shù)
    采用獨特的密封機構(gòu)和反向壓力消除機構(gòu)，不是使用機械鎖定機構(gòu)。
    極少采用會導(dǎo)致partical產(chǎn)生的滑動部件
    在打開/關(guān)閉或密封時幾乎沒有沖擊（振動）
  • 良好的維護性
    無需從設(shè)備或泵上拆下整個閥門即可單獨拆下閥殼
    可以在殼體移除后，僅移除一個螺栓來移除整個閥體單元
  • 可任意選擇安裝方向
    VFR系列安裝方向360度自由

用途

  • 大型顯示制造設(shè)備
  • 有機EL制造設(shè)備
  • 其他真空設(shè)備的主閥?分閥

規(guī)格

型號 VFR-400 VFR-500
公稱口徑 Φ400mm Φ500mm
連接法蘭（相當(dāng)于JIS B2290） VF400 VF500
開閉規(guī)格 2 位置
開閉動作原理 壓縮空氣工作式
開閉動作時間（2位置規(guī)格） 8sec 12sec
閥片密封性能 支持逆壓
閥板密封*大允許壓差(正壓) 0.12 MPa
閥板密封*大允許壓差(反壓) 0.12 MPa
開關(guān)時*大允許壓差(正壓) 0.5 kPa
開關(guān)時*大允許壓差(反壓) 0.5 kPa
開放電導(dǎo) 50000L/s 90000L/s
使用壓力范圍 1.0×10-5Pa～0.12MPa(abs)
允許烘烤溫度
（靜止時） 		閥體 < 120℃ (248F)
汽缸 < 80℃ (176F)
動作環(huán)境溫度 10 to 80℃ (50 to 176F)
使用流體溫度 10 to 80℃ (50 to 176F)
汽缸供應(yīng)壓縮空氣壓力 0.50 to 0.70MPaG (72.5 to 101.5psi, 5.0 to 7.0bar)
壓縮空氣供應(yīng)口徑 Φ8管接頭
維護周期 100,000
安裝姿態(tài) 自由
主要部件材質(zhì) 閥體 AC4CH-T6
閥片 AC4CH-T6
密封部件材質(zhì) 真空側(cè) 氟橡膠
油脂類 Z300
重量 98kg 155kg
面之間的尺寸 150mm 170mm

尺寸圖

  • VFR-400VFR-400_en_size.png
  • VFR-500VFR-500_en_size.png
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