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產品詳情
  • 產品名稱:ULVAC愛發(fā)科校正漏孔薄膜型

  • 產品型號:CLM-09AZ
  • 產品廠商:ULVAC愛發(fā)科
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簡單介紹:
這是利用氦氣透過玻璃 (透過材料) 的校正漏孔。(真空法校正)
詳情介紹:
這是利用氦氣透過玻璃 (透過材料) 的校正漏孔。(真空法校正)

規(guī)格

型號 泄露量 充氣壓力 接頭
CLM-07AY 10-7Pa?m3/s臺 261kPa(abs) Φ18mm pipe(with manual valve)
CLM-08A 10-8Pa?m3/s臺 251kPa(abs)
CLM-09AZ 10-9Pa?m3/s臺 261kPa(abs)
CLM-10A 10-10Pa?m3/s臺 101kPa(abs)

HELIOT中內置的校正漏孔

型號 泄露量 封入圧力 適用機型
CLM-08E 10?8Pa?m3/s臺 251kPa(abs) HELIOT710,700,300series
CLM-08F 10-8Pa?m3/s臺 251kPa(abs) HELIOT900series

尺寸圖

CLM-08A, CLM-09AZ, CLM-10A
CLM-08ACLM-09AZCLM-10A.png

CLM-07AY

CLM-07AY.png

CLM-08F

CLM-08F.png

CLM-08E

CLM-08E.png

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