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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科工藝氣體分析儀

  • 產(chǎn)品型號：CGM-052
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
新型工藝氣體分析儀(RGA)，實(shí)現(xiàn)了高壓下(1Pa以下)的高精度、高分辨率以及革 命性的簡單易操作性。來自不同生產(chǎn)線的設(shè)備工程師的反饋被納入產(chǎn)品的設(shè)計中，*適合濺射設(shè)備的工藝管理（提高品質(zhì)、提高良率）。
詳情介紹：
新型工藝氣體分析儀(RGA)，實(shí)現(xiàn)了高壓下(1Pa以下)的高精度、高分辨率以及革 命性的簡單易操作性。來自不同生產(chǎn)線的設(shè)備工程師的反饋被納入產(chǎn)品的設(shè)計中，*適合濺射設(shè)備的工藝管理（提高品質(zhì)、提高良率）。

特點(diǎn)

  • 適用于各種濺射系統(tǒng)的工藝監(jiān)控
  • Air Leak監(jiān)控
  • 殘留水分管理
  • 無需差動排氣系統(tǒng)（less than 1 Pa at 7.5 x 10-3Torr/1 x 10-2 mbar）
  • 內(nèi)置顯示屏：無需PC可單獨(dú)操作使用
  • 可進(jìn)行高靈敏度泄漏測試（CGM2-052）
  • 可進(jìn)行全壓測定
  • 操作簡單-One Click功能
  • 標(biāo)配Qulee QCS軟件
  • 支持CE標(biāo)準(zhǔn)

用途

  • 適用于濺射設(shè)備的殘余氣體分析、工藝監(jiān)控和雜質(zhì)管理(H2O)。
  • 用于濺射設(shè)備的泄漏測試。

規(guī)格

分解能

M/△M=1M(10% P.H.)

型號 CGM-051 CGM2-101 CGM-052 CGM2-102
質(zhì)量分離方式 四極型質(zhì)量分析儀
質(zhì)量數(shù)范圍 1～50 amu 1～100 amu 1～50 amu 1～100 amu
檢出器 法拉第杯 二級電子倍增管／法拉第杯
感度 0.1uA/Pa 0.1mA/Pa
*小檢知分圧 1x10-7Pa 1x10-10Pa
*大使用圧力 2Pa 2Pa(FC)1x10-2Pa(SEM)
線性 1Pa
全壓力測量功能 有
Degas function Electron bombard type 300V, 5mA
一鍵檢漏功能 有 / He / H2O / N2 / O2 / Any gas
電源電壓 DC24V±10％　50W
*大烘烤可能溫度
(傳感器單元連接時) 		120℃
*大烘烤可能溫度
(傳感器單元移除時) 		250℃
使用溫度范圍 10～40℃
接口 Ethernet
軟件 Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）適用
符合標(biāo)準(zhǔn) CE

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